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電子半導體行業(yè)廢氣處理設備

發(fā)布時間:2022/3/29 10:38:55 瀏覽次數(shù):

處理工藝:氮氧化物濃度較高的采用四級串聯(lián)高濃度酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉、硫化鈉進行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級串聯(lián)酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉進行洗滌處理。


主要特點:凈化效率高,結(jié)構(gòu)緊湊,耐腐蝕,耐老化性能好,自動化控制,操作簡單,廣泛應用于太陽能、電子半導體等行業(yè)。


PECVD設備尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。


處理工藝:不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風機


主要特點:硅烷去除率高, 氨氣及其他水溶性氣體凈化率高,占地面積小,耐腐蝕,便于維修。



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